表面平整度和薄膜干涉的检测

本文目录一览：

• 1、利用薄膜干涉检查工件平整度
• 2、利用薄膜干涉可检查工件表面的平整度.
• 3、如何利用光的干涉来测量物体表面的平整度?
• 4、利用光的干涉检查平整度
• 5、薄膜的等厚干涉是怎么形成的?如何检验物体表面的平整度?

利用薄膜干涉检查工件平整度

利用光的干涉来检测物体表面的平整度可以用一个标准平板在上方，待测平板在下方，组成空气劈尖。如果待测平板表面不平整，产生的等厚干涉条纹就会发生弯曲。

干涉法检查平整度中凹凸情况的两种判定方法：1．基本方法如图甲所示，两板之间形成一层空气膜，用单色光从上向下照射，入射光从空气膜的上下表面反射出两列光波，形成干涉条纹。

则会在薄膜表面出现亮区，而且亮区会呈现带状且这片带状区域的薄膜厚度一定是相等的；当l=半奇数倍波长，则会在薄膜表面出现暗带。因此是明暗间隔的。相邻亮带之间一定差波长的1/2，由此可以检验物体表面的平整度。

一点向下凹陷的时候，同一直线上，光程差应该是相等的。由于向下凹陷。所以说应该要向左一些才能够找到光程差相等的那一个点。(这是在右边高一些的情况下)所以说向下凹陷的时候向左弯曲。一点向上突起的时候。

利用薄膜干涉可检查工件表面的平整度.

参与薄膜干涉的两列光是分别从薄膜的前表面和后表面反射出来的两列光。用薄膜干涉可以检查工件表面是否平整，在透镜表面涂上增透膜以增大透射光。

利用光的干涉来检测物体表面的平整度可以用一个标准平板在上方，待测平板在下方，组成空气劈尖。如果待测平板表面不平整，产生的等厚干涉条纹就会发生弯曲。

干涉法检查平整度中凹凸情况的两种判定方法：1．基本方法如图甲所示，两板之间形成一层空气膜，用单色光从上向下照射，入射光从空气膜的上下表面反射出两列光波，形成干涉条纹。

则会在薄膜表面出现亮区，而且亮区会呈现带状且这片带状区域的薄膜厚度一定是相等的；当l=半奇数倍波长，则会在薄膜表面出现暗带。因此是明暗间隔的。相邻亮带之间一定差波长的1/2，由此可以检验物体表面的平整度。

如何利用光的干涉来测量物体表面的平整度?

，·用一块光学玻璃，与物体表面成一很小的角度，然后看干涉条纹的形状。（凹进凸出）2·用凸透镜 放于物体表面，若出现牛顿环则表面平，若出现的环为弯曲的则表面不平。

检测平整度用的是空气劈尖干涉原理，当光垂直入射时，在工件的上表面和玻璃板的下表面反射的光相干涉，当光波的光程差为波长的整数倍时，形成明条纹，为半波长的奇数倍时，形成暗条纹。

用“前凹后凸”来判断。从空气薄膜的薄向厚看，如果条纹提前出现，则被测表面是凹下去的。如果条纹延后出现，则被测表面是凸起的。

原理很简单，用一个标准平面和一个待测面构成尖劈结构，如果待测面也是平整的，就会形成规则的干涉条纹，平行的等间距直线条纹。

利用光的干涉检查平整度

利用光的干涉来检测物体表面的平整度可以用一个标准平板在上方，待测平板在下方，组成空气劈尖。如果待测平板表面不平整，产生的等厚干涉条纹就会发生弯曲。

，·用一块光学玻璃，与物体表面成一很小的角度，然后看干涉条纹的形状。（凹进凸出）2·用凸透镜 放于物体表面，若出现牛顿环则表面平，若出现的环为弯曲的则表面不平。

检测平整度用的是空气劈尖干涉原理，当光垂直入射时，在工件的上表面和玻璃板的下表面反射的光相干涉，当光波的光程差为波长的整数倍时，形成明条纹，为半波长的奇数倍时，形成暗条纹。

干涉法检查平整度中凹凸情况的两种判定方法：1．基本方法如图甲所示，两板之间形成一层空气膜，用单色光从上向下照射，入射光从空气膜的上下表面反射出两列光波，形成干涉条纹。

利用的是光的皮尖干涉。一个条纹的意义很重要，代表的是平面上厚度相等的点。

用等厚干涉原理检验光学平面的表面平整度，一般都是选用尖劈干涉。如果是牛顿环，方法类似，就是看条纹是不是对称，是不是圆周，如果是，就是平整的，如果不是，就不是平整的。

薄膜的等厚干涉是怎么形成的?如何检验物体表面的平整度?

注意等厚干涉是在薄膜表面出现的。一束入射光射到薄膜上，然后进入折射，再反射再折射出来。这时折射出来的点位置与另一条入射光线干涉。

．基本方法如图甲所示，两板之间形成一层空气膜，用单色光从上向下照射，入射光从空气膜的上下表面反射出两列光波，形成干涉条纹。如果被检查平面是光滑的，得到的干涉图样必是等间距的。

利用光的干涉来检测物体表面的平整度可以用一个标准平板在上方，待测平板在下方，组成空气劈尖。如果待测平板表面不平整，产生的等厚干涉条纹就会发生弯曲。